第309章 手测参数注入数控大脑
陈默站在原地，一动不动。
他低头看著那张图纸。看了很久。
然后从贴身的棉袄內兜里，摸出一个油纸包。
油纸发黄髮脆，边角磨出了毛边。
打开，里面是一本三十二开的硬皮笔记本。
翻开硬皮封面，扉页上用钢笔写著四个字：校准手记。
字跡工整，但有几处墨水洇开了。
不是水渍，是汗。
“我师傅走之前，把这个给我的。”
陈默的手在抖。
“这台机器每一根导轨的直线度偏差。”
“每一个蜗轮齿的实际齿距。”
“主光路每个透镜组的最佳工作温度……”
“全在这里面。”
他把笔记本递到林希手上。
“三百九十五个参数。”
“他量了三年。”
陈默吸了一下鼻子。
“他说，留著，总有一天会有人来修它。”
林希接过笔记本，翻开第一页。
密密麻麻的数字，用铅笔一笔一划写成。
每个数据后面都標註了测量日期、环境温度和湿度。
有些页面的边角被反覆翻折，纸张已经起了毛。
直播间安静了几秒。
然后弹幕开始滚动。
【三百九十五个参数，量了三年。这不是笔记本，这是这台机器的体检报告。】
【师傅熬瞎了眼睛没解决的问题，徒弟守了三年等来了能解决的人。】
【“总有一天会有人来修它”，，这句话我要记一辈子。】
【我现在就一个要求：把这台机器救活！】
林希合上笔记本。
“陈师傅。”
“这些参数，正好是光柵尺补偿算法的输入数据。”
“你师傅花三年量的东西，今天全用得上。”
陈默的膝盖软了一下。
他扶住机器底座，把脸別过去。
肩膀在抖。
周维民站在门口，喉头滚了两下，扭过头去看天花板。
江俊走上前，轻轻拍了拍陈默的后背。没说话。
他也是长光所出来的人。
有些东西不用说。
---
改造从第二天早上开始。
江俊带著两名红星技术员。
把光柵尺和伺服电机拆箱。
陈默在旁边看著那两条银白色的光柵尺，眼睛一眨不眨。
“一微米？”
“一微米。”
江俊拧紧固定螺栓，
“红星跟长光所联合中心的產品。”
陈默没再问。
他蹲下去，开始拆工作檯侧面的蜗轮箱盖。
扳手在他手里转得飞快。
每颗螺栓拧到什么位置鬆手，不用看，全凭手感。
这台机器的每一颗螺丝，他都认识。
光柵尺安装到位后。
江俊接通数控板电源。
屏幕上跳出一串位置读数。
“x轴零位標定。”
“陈师傅。”
“你那本笔记上。”
“x轴导轨在行程中点的直线度偏差是多少？”
陈默连翻都没翻。
“0.8微米，偏左。”
江俊敲入补偿值。
伺服电机嗡了一声，工作檯微微平移。
屏幕上的读数跳了一下，归零。
“y轴呢？”
“1.2微米，偏下。”
“行程末端有个0.3微米的回程间隙，要单独补。”
三百九十五个参数。
陈默一个一个报，江俊一个一个录。
没有人翻笔记本。
全在陈默脑子里。
三年，一百八十六次保养。
每一次保养都要重新测量、重新记录。
数据早就刻进骨头里了。
直播间弹幕滚动：
【这人是活的资料库啊。】
【三年不是白守的，他把整台机器背下来了。】
【人形雷射干涉仪，比机器还精密。】
下午三点，全部补偿参数录入完毕。
江俊做最后一项测试：
让工作檯在全行程范围內往返运动。
光柵尺实时採集位置数据。
屏幕上，一条绿色的曲线缓缓展开。
平直。
偶尔有微小的波动，但伺服电机在零点几秒內就把它拉回来。
“全行程定位精度，”
江俊盯著数据，声音有点发紧，
“正负3微米。”
陈默靠在机器旁边，慢慢滑坐到地上。
他没哭。
他笑了。
笑著笑著，把脸埋进膝盖里。
---
光刻机活了。
但活过来只是第一关。
三天后，第一批试製硅片进入湿法刻蚀环节。
刻蚀槽是陈默用不锈钢焊的，简陋但乾净。
酸液配方按照教科书上的標准比例调配。
第一片硅片放进去.
计时，取出，纯水冲洗，推到显微镜下。
江俊看了一眼，脸色变了。
“侧蚀太严重。”
他让开目镜，林希凑上去看。
5微米的线条，被酸液从两侧啃进去將近2微米。
剩下的线宽不到1微米，有些地方已经断了。
换配方，提高酸液浓度。
第二片，断线更多。
降低浓度，缩短时间。
第三片，沟槽底部没刻透。
连续三个通宵。
十七种配方。
没有一片合格。
第四天凌晨，刻蚀车间里瀰漫著酸雾的味道。
陈默靠在墙角打盹，江俊的眼睛布满血丝。
林希坐在角落，闭上眼睛。
脑海里，直播间的画面亮了起来。
他把问题原原本本地说了一遍。
弹幕沉默了十几秒。
然后一个id冒了出来：【材料狗不睡觉】。
【別用纯hf。】
【现在的光刻胶耐酸性差，纯氢氟酸刻蚀速率太快，根本控不住侧向钻蚀。】
紧接著，第二条弹幕：
【加nh4f做缓衝剂。氟化銨和氢氟酸的摩尔比6:1，槽液温度锁死35度。这个配方叫boe，缓衝氧化物刻蚀液。】
第三条：
【关键点：35度恆温。温度每波动1度，刻蚀速率变化8%。你们没有恆温槽的话，用水浴锅套著不锈钢槽，温度计插在水浴里，人工盯著。】
第四条，另一个id【半导体搬砖人】：
【nh4f这东西你们1983年应该能搞到，化工厂有。纯度不用太高，分析纯就够。】
弹幕区停了一秒。
然后齐刷刷一排：
【大佬！】
【材料狗永远不睡觉，但永远能救命！】
【六比一！记住了！考试要考！】
林希睁开眼。
“陈师傅。”
“化工库房里有没有氟化銨？”
他低头看著那张图纸。看了很久。
然后从贴身的棉袄內兜里，摸出一个油纸包。
油纸发黄髮脆，边角磨出了毛边。
打开，里面是一本三十二开的硬皮笔记本。
翻开硬皮封面，扉页上用钢笔写著四个字：校准手记。
字跡工整，但有几处墨水洇开了。
不是水渍，是汗。
“我师傅走之前，把这个给我的。”
陈默的手在抖。
“这台机器每一根导轨的直线度偏差。”
“每一个蜗轮齿的实际齿距。”
“主光路每个透镜组的最佳工作温度……”
“全在这里面。”
他把笔记本递到林希手上。
“三百九十五个参数。”
“他量了三年。”
陈默吸了一下鼻子。
“他说，留著，总有一天会有人来修它。”
林希接过笔记本，翻开第一页。
密密麻麻的数字，用铅笔一笔一划写成。
每个数据后面都標註了测量日期、环境温度和湿度。
有些页面的边角被反覆翻折，纸张已经起了毛。
直播间安静了几秒。
然后弹幕开始滚动。
【三百九十五个参数，量了三年。这不是笔记本，这是这台机器的体检报告。】
【师傅熬瞎了眼睛没解决的问题，徒弟守了三年等来了能解决的人。】
【“总有一天会有人来修它”，，这句话我要记一辈子。】
【我现在就一个要求：把这台机器救活！】
林希合上笔记本。
“陈师傅。”
“这些参数，正好是光柵尺补偿算法的输入数据。”
“你师傅花三年量的东西，今天全用得上。”
陈默的膝盖软了一下。
他扶住机器底座，把脸別过去。
肩膀在抖。
周维民站在门口，喉头滚了两下，扭过头去看天花板。
江俊走上前，轻轻拍了拍陈默的后背。没说话。
他也是长光所出来的人。
有些东西不用说。
---
改造从第二天早上开始。
江俊带著两名红星技术员。
把光柵尺和伺服电机拆箱。
陈默在旁边看著那两条银白色的光柵尺，眼睛一眨不眨。
“一微米？”
“一微米。”
江俊拧紧固定螺栓，
“红星跟长光所联合中心的產品。”
陈默没再问。
他蹲下去，开始拆工作檯侧面的蜗轮箱盖。
扳手在他手里转得飞快。
每颗螺栓拧到什么位置鬆手，不用看，全凭手感。
这台机器的每一颗螺丝，他都认识。
光柵尺安装到位后。
江俊接通数控板电源。
屏幕上跳出一串位置读数。
“x轴零位標定。”
“陈师傅。”
“你那本笔记上。”
“x轴导轨在行程中点的直线度偏差是多少？”
陈默连翻都没翻。
“0.8微米，偏左。”
江俊敲入补偿值。
伺服电机嗡了一声，工作檯微微平移。
屏幕上的读数跳了一下，归零。
“y轴呢？”
“1.2微米，偏下。”
“行程末端有个0.3微米的回程间隙，要单独补。”
三百九十五个参数。
陈默一个一个报，江俊一个一个录。
没有人翻笔记本。
全在陈默脑子里。
三年，一百八十六次保养。
每一次保养都要重新测量、重新记录。
数据早就刻进骨头里了。
直播间弹幕滚动：
【这人是活的资料库啊。】
【三年不是白守的，他把整台机器背下来了。】
【人形雷射干涉仪，比机器还精密。】
下午三点，全部补偿参数录入完毕。
江俊做最后一项测试：
让工作檯在全行程范围內往返运动。
光柵尺实时採集位置数据。
屏幕上，一条绿色的曲线缓缓展开。
平直。
偶尔有微小的波动，但伺服电机在零点几秒內就把它拉回来。
“全行程定位精度，”
江俊盯著数据，声音有点发紧，
“正负3微米。”
陈默靠在机器旁边，慢慢滑坐到地上。
他没哭。
他笑了。
笑著笑著，把脸埋进膝盖里。
---
光刻机活了。
但活过来只是第一关。
三天后，第一批试製硅片进入湿法刻蚀环节。
刻蚀槽是陈默用不锈钢焊的，简陋但乾净。
酸液配方按照教科书上的標准比例调配。
第一片硅片放进去.
计时，取出，纯水冲洗，推到显微镜下。
江俊看了一眼，脸色变了。
“侧蚀太严重。”
他让开目镜，林希凑上去看。
5微米的线条，被酸液从两侧啃进去將近2微米。
剩下的线宽不到1微米，有些地方已经断了。
换配方，提高酸液浓度。
第二片，断线更多。
降低浓度，缩短时间。
第三片，沟槽底部没刻透。
连续三个通宵。
十七种配方。
没有一片合格。
第四天凌晨，刻蚀车间里瀰漫著酸雾的味道。
陈默靠在墙角打盹，江俊的眼睛布满血丝。
林希坐在角落，闭上眼睛。
脑海里，直播间的画面亮了起来。
他把问题原原本本地说了一遍。
弹幕沉默了十几秒。
然后一个id冒了出来：【材料狗不睡觉】。
【別用纯hf。】
【现在的光刻胶耐酸性差，纯氢氟酸刻蚀速率太快，根本控不住侧向钻蚀。】
紧接著，第二条弹幕：
【加nh4f做缓衝剂。氟化銨和氢氟酸的摩尔比6:1，槽液温度锁死35度。这个配方叫boe，缓衝氧化物刻蚀液。】
第三条：
【关键点：35度恆温。温度每波动1度，刻蚀速率变化8%。你们没有恆温槽的话，用水浴锅套著不锈钢槽，温度计插在水浴里，人工盯著。】
第四条，另一个id【半导体搬砖人】：
【nh4f这东西你们1983年应该能搞到，化工厂有。纯度不用太高，分析纯就够。】
弹幕区停了一秒。
然后齐刷刷一排：
【大佬！】
【材料狗永远不睡觉，但永远能救命！】
【六比一！记住了！考试要考！】
林希睁开眼。
“陈师傅。”
“化工库房里有没有氟化銨？”