第308章 给光刻机装「眼睛」
男人没回答。
他盯著林希和江俊看了两秒。
目光落在周维民手里的钥匙上。
又扫了一眼门框上被撕掉一半的封条。
喉结滚了一下。
“周所。”
声音发涩。
“是来拉机器的？”
周维民赶紧摆手：
“不是不是，这位是红星科技的林经理。”
“来看看设备情况......”
“看看可以。”
陈默打断他。
声音很轻，但每个字咬得很死。
“搬走不行。”
周维民脸色不太好看，压低声音：
“老陈，行政科的处理通知你也看到了。”
“这是所里的决定……”
“所里的决定是错的。”
这句话出来，仓库里的空气凝住了。
周维民嘴张了一下，没接上。
陈默的眼眶开始泛红。
“周所，这台机器没坏。”
一个字一个字地说。
“主光路系统是王老亲手校的。”
“汞灯光源换过两次，每次都是我跟著师父一起换的。”
“物镜组的像差修正到现在还是好的。”
“它只是……大家不用了。”
他吸了一下鼻子。
“我知道所里缺钱。”
“我也知道上面说造不如买。”
“但这台机器是几百號人、干了四年搞出来的。”
“我师父……”
他停了一下。
“我师父在这台机器上熬瞎了一只眼睛。”
“求所里別把它砸了。”
直播间弹幕刷得很慢，但每一条都很长。
【一百多號人四年的心血，就这么要处理掉了。】
【他师父熬瞎了一只眼睛，这句话我看了三遍。】
【老陈把铺盖搬到仓库来了，他是怕自己不在的时候，机器被人拉走。】
【那三件军大衣盖在机器上，他晚上盖什么？】
仓库里沉默了很久。
周维民低著头。
他不是不懂陈默的心情，但所里的情况摆在那儿。
江俊站在林希身后，嘴唇抿得很紧。
他想起自己当年在长光所的日子。
想起那些因为经费被砍而中途夭折的项目。
林希没急著表態。
他走到机器旁边，弯下腰，轻轻掀起一角军大衣。
露出来的是主工作檯的导轨面。
他伸出右手，指腹贴上导轨表面，缓缓滑过去。
三秒钟。
直起身。
“陈师傅。”
林希看著陈默。
“这台导轨，你多久保养一次？”
“每周一次。”
陈默下意识回答，
“擦旧油，上新油。”
“导轨面不能落灰。”
“落灰了就会锈蚀，锈蚀了精度就完了。”
“三年了？”
“三年多。”
陈默的声音有点抖。
“一百八十六次。”
林希收回手。
指腹上沾著一层薄薄的油膜，均匀、细腻，没有一粒杂质。
他转头看向江俊。
江俊是光学精密仪器出身，一看林希的眼神就明白了。
他走上前，掀开军大衣的另一角，露出底座的铸铁基体。
蹲下去看了几秒。
站起来的时候，表情变了。
“林总。”
江俊的声音压得很低，但压不住底下的东西。
“这个底座……”
“铸铁件自然时效去应力。”
林希接过话。
“这台机器从1979年铸造到现在，经歷了四个春夏秋冬。”
“铸铁內部的残余应力。”
“已经通过自然温度循环，完成了最充分的释放。”
“现在这个底座的形变量，比任何人工退火处理都要小。”
他拍了拍铸铁基体。
“这是时间给的礼物。”
“花多少钱都买不来。”
陈默愣住了。
他守了这台机器三年。
听过无数人说它是废铁、是累赘、是过时的破烂。
从来没有人走过来摸一把导轨。
然后告诉他，这台机器的底子是好的。
直播间的弹幕也在此刻快速滚动起来：
【懂行的来了！自然时效是精密设备领域的“陈年老酒”，放得越久越值钱！】
【林总之前造砥柱工具机，底座用的泉城青花岗岩，也是同样的道理，追求极致的形变稳定性。】
【所以这台光刻机的机械底座，反而因为放了四年，变成了最完美的状態？】
【废铁？这是宝贝！被你们当废铁扔了四年的宝贝！】
陈默的嘴唇哆嗦了好几下。
“你是说……这台机器，还能用？”
“不是还能用。”
林希收回手指，把沾著油膜的指腹在裤腿上蹭了蹭，
“是它从来就没坏过。”
他绕著gk-3走了一圈。
军大衣被掀开大半，露出主光路系统的铸铝外壳。
汞灯光源的接口擦得鋥亮，连螺纹里都没有积灰。
“陈师傅。”
“这台机器当年下马，不是因为光学系统不行。”
林希停在xy工作檯前。
用指甲弹了一下导轨侧面的刻度盘。
“是因为这个。”
陈默一愣。
“套刻对准。”
林希蹲下去。
指著工作檯底部一组老式的蜗轮蜗杆传动机构，
“纯机械传动，没有位置反馈。”
“丝槓转一圈，理论行程是0.5毫米。”
“但实际上，蜗轮齿面磨损不均匀。”
“每转一圈的真实位移都不一样。”
他站起来，拍了拍手上的灰。
“套刻精度要求正负5微米。”
“这套机械传动的累积误差，最大能到8微米。”
“所以第二层图形永远对不准第一层。”
“废片率超过六成。”
陈默的身体晃了一下。
他当然知道。
这个问题困扰了整个109会战团队两年。
他师傅为了解决这个死区。
在显微镜前连续坐了七十二个小时。
左眼的视网膜就是那时候脱落的。
最后也没解决。
林希从公文包里抽出一张图纸，展开铺在行军床上。
图纸上画著一套改造方案。
xy工作檯两侧，各加装一条光柵尺。
光柵尺的信號接入一块数字控制板。
控制板驱动两台微型伺服电机。
替换原有的手摇蜗轮。
“红星和长光所联合自研自產的光柵尺，解析度1微米。”
林希用笔尖点著图纸，
“配合闭环伺服控制。”
“丝槓的累积误差，在每个採样周期內实时补偿。”
他看向陈默。
“你的机器什么都好。”
“光学系统是王老定的方案。”
“底座经过四年自然时效，主光路没跑偏。”
“它就差一双眼睛。”
“现在，我把眼睛给它装上。”
他盯著林希和江俊看了两秒。
目光落在周维民手里的钥匙上。
又扫了一眼门框上被撕掉一半的封条。
喉结滚了一下。
“周所。”
声音发涩。
“是来拉机器的？”
周维民赶紧摆手：
“不是不是，这位是红星科技的林经理。”
“来看看设备情况......”
“看看可以。”
陈默打断他。
声音很轻，但每个字咬得很死。
“搬走不行。”
周维民脸色不太好看，压低声音：
“老陈，行政科的处理通知你也看到了。”
“这是所里的决定……”
“所里的决定是错的。”
这句话出来，仓库里的空气凝住了。
周维民嘴张了一下，没接上。
陈默的眼眶开始泛红。
“周所，这台机器没坏。”
一个字一个字地说。
“主光路系统是王老亲手校的。”
“汞灯光源换过两次，每次都是我跟著师父一起换的。”
“物镜组的像差修正到现在还是好的。”
“它只是……大家不用了。”
他吸了一下鼻子。
“我知道所里缺钱。”
“我也知道上面说造不如买。”
“但这台机器是几百號人、干了四年搞出来的。”
“我师父……”
他停了一下。
“我师父在这台机器上熬瞎了一只眼睛。”
“求所里別把它砸了。”
直播间弹幕刷得很慢，但每一条都很长。
【一百多號人四年的心血，就这么要处理掉了。】
【他师父熬瞎了一只眼睛，这句话我看了三遍。】
【老陈把铺盖搬到仓库来了，他是怕自己不在的时候，机器被人拉走。】
【那三件军大衣盖在机器上，他晚上盖什么？】
仓库里沉默了很久。
周维民低著头。
他不是不懂陈默的心情，但所里的情况摆在那儿。
江俊站在林希身后，嘴唇抿得很紧。
他想起自己当年在长光所的日子。
想起那些因为经费被砍而中途夭折的项目。
林希没急著表態。
他走到机器旁边，弯下腰，轻轻掀起一角军大衣。
露出来的是主工作檯的导轨面。
他伸出右手，指腹贴上导轨表面，缓缓滑过去。
三秒钟。
直起身。
“陈师傅。”
林希看著陈默。
“这台导轨，你多久保养一次？”
“每周一次。”
陈默下意识回答，
“擦旧油，上新油。”
“导轨面不能落灰。”
“落灰了就会锈蚀，锈蚀了精度就完了。”
“三年了？”
“三年多。”
陈默的声音有点抖。
“一百八十六次。”
林希收回手。
指腹上沾著一层薄薄的油膜，均匀、细腻，没有一粒杂质。
他转头看向江俊。
江俊是光学精密仪器出身，一看林希的眼神就明白了。
他走上前，掀开军大衣的另一角，露出底座的铸铁基体。
蹲下去看了几秒。
站起来的时候，表情变了。
“林总。”
江俊的声音压得很低，但压不住底下的东西。
“这个底座……”
“铸铁件自然时效去应力。”
林希接过话。
“这台机器从1979年铸造到现在，经歷了四个春夏秋冬。”
“铸铁內部的残余应力。”
“已经通过自然温度循环，完成了最充分的释放。”
“现在这个底座的形变量，比任何人工退火处理都要小。”
他拍了拍铸铁基体。
“这是时间给的礼物。”
“花多少钱都买不来。”
陈默愣住了。
他守了这台机器三年。
听过无数人说它是废铁、是累赘、是过时的破烂。
从来没有人走过来摸一把导轨。
然后告诉他，这台机器的底子是好的。
直播间的弹幕也在此刻快速滚动起来：
【懂行的来了！自然时效是精密设备领域的“陈年老酒”，放得越久越值钱！】
【林总之前造砥柱工具机，底座用的泉城青花岗岩，也是同样的道理，追求极致的形变稳定性。】
【所以这台光刻机的机械底座，反而因为放了四年，变成了最完美的状態？】
【废铁？这是宝贝！被你们当废铁扔了四年的宝贝！】
陈默的嘴唇哆嗦了好几下。
“你是说……这台机器，还能用？”
“不是还能用。”
林希收回手指，把沾著油膜的指腹在裤腿上蹭了蹭，
“是它从来就没坏过。”
他绕著gk-3走了一圈。
军大衣被掀开大半，露出主光路系统的铸铝外壳。
汞灯光源的接口擦得鋥亮，连螺纹里都没有积灰。
“陈师傅。”
“这台机器当年下马，不是因为光学系统不行。”
林希停在xy工作檯前。
用指甲弹了一下导轨侧面的刻度盘。
“是因为这个。”
陈默一愣。
“套刻对准。”
林希蹲下去。
指著工作檯底部一组老式的蜗轮蜗杆传动机构，
“纯机械传动，没有位置反馈。”
“丝槓转一圈，理论行程是0.5毫米。”
“但实际上，蜗轮齿面磨损不均匀。”
“每转一圈的真实位移都不一样。”
他站起来，拍了拍手上的灰。
“套刻精度要求正负5微米。”
“这套机械传动的累积误差，最大能到8微米。”
“所以第二层图形永远对不准第一层。”
“废片率超过六成。”
陈默的身体晃了一下。
他当然知道。
这个问题困扰了整个109会战团队两年。
他师傅为了解决这个死区。
在显微镜前连续坐了七十二个小时。
左眼的视网膜就是那时候脱落的。
最后也没解决。
林希从公文包里抽出一张图纸，展开铺在行军床上。
图纸上画著一套改造方案。
xy工作檯两侧，各加装一条光柵尺。
光柵尺的信號接入一块数字控制板。
控制板驱动两台微型伺服电机。
替换原有的手摇蜗轮。
“红星和长光所联合自研自產的光柵尺，解析度1微米。”
林希用笔尖点著图纸，
“配合闭环伺服控制。”
“丝槓的累积误差，在每个採样周期內实时补偿。”
他看向陈默。
“你的机器什么都好。”
“光学系统是王老定的方案。”
“底座经过四年自然时效，主光路没跑偏。”
“它就差一双眼睛。”
“现在，我把眼睛给它装上。”