第61章 PCT专员
光源系统！
汉斯的心臟像是被一只手狠狠攥住！
他虽然无法看清全貌，但那暴露出的部分结构他还是认出了一些。
可虽然认出来了，却还是陌生。
独特的能量耦合接口。
非传统的冷却迴路设计。
以及某种他从未在任何文献或產品中见过的光束整形组件。
每一处都散发著一种超越现有科技水平，令人心悸的气息！
其复杂程度和集成度，远非asml引以为傲的euv光源可比！
这……这是什么？！
就在他震惊得几乎无法思考时，他的目光扫到了站在那台改装光刻机控制台前的一群人。
魏天华和陈进一果然在这里！
他们身边还站著一位神情专注、头髮有些凌乱的中年工程师（严正行）。
但让汉斯瞳孔骤然收缩的，是站在魏天华他们对面的那个人！
那人穿著一身笔挺的西装，气质儒雅，手里拿著一个平板电脑，正指著屏幕上的数据与魏天华等人交流。
汉斯认得这张脸！
他是国际专利合作条约（pct）组织的高级专利审查官，戴维·诺顿！
一个专门负责审查全球范围內最尖端，最具商业潜力技术专利的权威人物！
pct的审查官？！
他为什么会在这里？！
在这个被军方严密守护的核心实验室里？！
一股冰冷的寒意瞬间从汉斯的脚底窜上头顶！
他猛地意识到，魏天华刚才那个神秘电话里的“诺顿先生”是谁！
那个“令人惊嘆”、“价值极高”的专利审查……
指的莫非就是眼前这台古怪光刻机里，那个前所未见的光源系统！
汉斯的心臟狂跳，几乎要衝破胸膛。
他贪婪地透过那道宝贵的观察窗缝隙向內窥视，目光死死锁定在超净间內部。
那台被改装的ssa600/20光刻机並未停止工作！
它正发出低沉而稳定的嗡鸣，机械臂流畅地运送著晶圆。
而在光刻机周围，除了海微的工程师，还有好几位佩戴著pct徽章的工作人员！
他们手持平板或专业记录设备，围著那台暴露了部分內部结构的光刻机，脸上无一例外地写满了惊嘆和难以置信！
他们正与海微的工程师们热烈地交流著，手指不断指向那奇特的光源结构和机器运行的实时数据。
神情激动，如同发现了新大陆的探险家。
pct专员！
不止一个！
他们在现场审查！
就在这机器运行时！
汉斯感觉自己快要窒息了。
他必须看得更清楚！
特別是控制台的数据！
那才是关键！
他像著了魔一样，沿著观察窗的墙壁急切地寻找著更好的角度。
突然，他发现侧前方一个用於设备维护的狭窄通道似乎无人看守。
尽头似乎有一个更靠近中心控制台的观察口！
机会！
他顾不得许多，像做贼一样，弓著身子，快速地溜进了那条通道。
幸运的是，通道尽头果然有一个稍大的观察窗口，角度正对著中心控制台！
汉斯几乎是扑了上去，整张狂热的脸紧紧贴在冰冷的观察窗玻璃上。
眼睛瞪得溜圆，死死盯住控制台上方那块巨大的主屏幕！
屏幕上，瀑布般的数据流飞速刷新。
汉斯的目光像雷达一样精准地扫过那些重点参数：
光源波长：13.42 nm (稳定)
光源输出功率：xxx kw
光源转化效率：31.8%(实时)
能量密度：xxx mj/cm2
稳定性指標：< 0.005%(波动)
曝光晶圆累计：第xxx片(持续运行)
实测线宽：7.3 nm (套刻精度< 2.0 nm)
“我的上帝啊！”
一声无法抑制，充满极度震惊和难以置信的惊呼。
如同被掐住脖子的鸭子发出的嘶鸣，猛地从汉斯喉咙里爆发出来！
他完全忘记了身处何地！
他用力揉搓著自己的眼睛，仿佛屏幕上的数据是恶魔製造的幻象！
他再看！
再看！
那恐怖的转化效率！
那稳定的13.5纳米以下波长！
那足以支撑7纳米量產的实测线宽！
这些数据每一项都像一记重锤，狠狠砸在他作为asml技术总监的骄傲和认知上！
这怎么可能？！
这完全顛覆了现有光刻技术的物理和工程极限！
这根本就不是他们asml的euv技术路线！
这是……这是全新的、划时代的、足以彻底埋葬现有光刻体系的怪物！
他像一尊石化的雕像，整张脸死死贴在玻璃上。
眼神呆滯，嘴巴无意识地张开，大脑一片空白……
只剩下屏幕上那冰冷而恐怖的数据在疯狂旋转！
他亲眼看著那台机器流畅地运作，看著那束他无法理解的光源系统稳定地输出著毁灭性的能量！
他仿佛看到了asml帝国大厦的根基，正在这遥远东方的实验室里，被这台简陋外壳包裹的怪物，一寸寸地瓦解！
这声失態的惊呼，在安静的核心区域如同平地惊雷！
超净间內，所有交谈瞬间停止！
魏天华、陈进一、严正行、戴维·诺顿以及所有pct专员、工程师……
所有人的目光如同探照灯般，齐刷刷地射向了汉斯藏身的那个观察窗口！
糟了！
当汉斯意识到麻烦时，已经无可挽回。
他看到魏天华脸上的血色唰地一下褪得乾乾净净，变得惨白！
对方眼中爆发出毫不掩饰的惶恐与惊怒！
那眼神，再没有一丝一毫先前在机房时的谦卑或虚心。
那是被触及核心逆鳞的狂暴！
“谁？！警报！拉响最高警报！！”
魏天华几乎是嘶吼出声。
令人心悸的最高级別入侵警报瞬间响彻整个核心区域！
走廊里红光疯狂闪烁！
沉重且密集的脚步声如同战鼓般从四面八方传来！
是那些全副武装的安保人员！
“快！保护现场！封锁所有数据！”
魏天华对著身边的工程师和pct专员大吼。
隨后和陈进一、严正行以及戴维·诺顿一起，以最快速度冲向观察窗所在的位置！
汉斯被这突如其来的变故和刺耳的警报嚇得魂飞魄散！
他猛地从震惊中回过神来，下意识地想后退逃离，但双脚却像灌了铅。
他看到魏天华等人冲了出来，脸上带著前所未有的可怕怒容。
汉斯的心臟像是被一只手狠狠攥住！
他虽然无法看清全貌，但那暴露出的部分结构他还是认出了一些。
可虽然认出来了，却还是陌生。
独特的能量耦合接口。
非传统的冷却迴路设计。
以及某种他从未在任何文献或產品中见过的光束整形组件。
每一处都散发著一种超越现有科技水平，令人心悸的气息！
其复杂程度和集成度，远非asml引以为傲的euv光源可比！
这……这是什么？！
就在他震惊得几乎无法思考时，他的目光扫到了站在那台改装光刻机控制台前的一群人。
魏天华和陈进一果然在这里！
他们身边还站著一位神情专注、头髮有些凌乱的中年工程师（严正行）。
但让汉斯瞳孔骤然收缩的，是站在魏天华他们对面的那个人！
那人穿著一身笔挺的西装，气质儒雅，手里拿著一个平板电脑，正指著屏幕上的数据与魏天华等人交流。
汉斯认得这张脸！
他是国际专利合作条约（pct）组织的高级专利审查官，戴维·诺顿！
一个专门负责审查全球范围內最尖端，最具商业潜力技术专利的权威人物！
pct的审查官？！
他为什么会在这里？！
在这个被军方严密守护的核心实验室里？！
一股冰冷的寒意瞬间从汉斯的脚底窜上头顶！
他猛地意识到，魏天华刚才那个神秘电话里的“诺顿先生”是谁！
那个“令人惊嘆”、“价值极高”的专利审查……
指的莫非就是眼前这台古怪光刻机里，那个前所未见的光源系统！
汉斯的心臟狂跳，几乎要衝破胸膛。
他贪婪地透过那道宝贵的观察窗缝隙向內窥视，目光死死锁定在超净间內部。
那台被改装的ssa600/20光刻机並未停止工作！
它正发出低沉而稳定的嗡鸣，机械臂流畅地运送著晶圆。
而在光刻机周围，除了海微的工程师，还有好几位佩戴著pct徽章的工作人员！
他们手持平板或专业记录设备，围著那台暴露了部分內部结构的光刻机，脸上无一例外地写满了惊嘆和难以置信！
他们正与海微的工程师们热烈地交流著，手指不断指向那奇特的光源结构和机器运行的实时数据。
神情激动，如同发现了新大陆的探险家。
pct专员！
不止一个！
他们在现场审查！
就在这机器运行时！
汉斯感觉自己快要窒息了。
他必须看得更清楚！
特別是控制台的数据！
那才是关键！
他像著了魔一样，沿著观察窗的墙壁急切地寻找著更好的角度。
突然，他发现侧前方一个用於设备维护的狭窄通道似乎无人看守。
尽头似乎有一个更靠近中心控制台的观察口！
机会！
他顾不得许多，像做贼一样，弓著身子，快速地溜进了那条通道。
幸运的是，通道尽头果然有一个稍大的观察窗口，角度正对著中心控制台！
汉斯几乎是扑了上去，整张狂热的脸紧紧贴在冰冷的观察窗玻璃上。
眼睛瞪得溜圆，死死盯住控制台上方那块巨大的主屏幕！
屏幕上，瀑布般的数据流飞速刷新。
汉斯的目光像雷达一样精准地扫过那些重点参数：
光源波长：13.42 nm (稳定)
光源输出功率：xxx kw
光源转化效率：31.8%(实时)
能量密度：xxx mj/cm2
稳定性指標：< 0.005%(波动)
曝光晶圆累计：第xxx片(持续运行)
实测线宽：7.3 nm (套刻精度< 2.0 nm)
“我的上帝啊！”
一声无法抑制，充满极度震惊和难以置信的惊呼。
如同被掐住脖子的鸭子发出的嘶鸣，猛地从汉斯喉咙里爆发出来！
他完全忘记了身处何地！
他用力揉搓著自己的眼睛，仿佛屏幕上的数据是恶魔製造的幻象！
他再看！
再看！
那恐怖的转化效率！
那稳定的13.5纳米以下波长！
那足以支撑7纳米量產的实测线宽！
这些数据每一项都像一记重锤，狠狠砸在他作为asml技术总监的骄傲和认知上！
这怎么可能？！
这完全顛覆了现有光刻技术的物理和工程极限！
这根本就不是他们asml的euv技术路线！
这是……这是全新的、划时代的、足以彻底埋葬现有光刻体系的怪物！
他像一尊石化的雕像，整张脸死死贴在玻璃上。
眼神呆滯，嘴巴无意识地张开，大脑一片空白……
只剩下屏幕上那冰冷而恐怖的数据在疯狂旋转！
他亲眼看著那台机器流畅地运作，看著那束他无法理解的光源系统稳定地输出著毁灭性的能量！
他仿佛看到了asml帝国大厦的根基，正在这遥远东方的实验室里，被这台简陋外壳包裹的怪物，一寸寸地瓦解！
这声失態的惊呼，在安静的核心区域如同平地惊雷！
超净间內，所有交谈瞬间停止！
魏天华、陈进一、严正行、戴维·诺顿以及所有pct专员、工程师……
所有人的目光如同探照灯般，齐刷刷地射向了汉斯藏身的那个观察窗口！
糟了！
当汉斯意识到麻烦时，已经无可挽回。
他看到魏天华脸上的血色唰地一下褪得乾乾净净，变得惨白！
对方眼中爆发出毫不掩饰的惶恐与惊怒！
那眼神，再没有一丝一毫先前在机房时的谦卑或虚心。
那是被触及核心逆鳞的狂暴！
“谁？！警报！拉响最高警报！！”
魏天华几乎是嘶吼出声。
令人心悸的最高级別入侵警报瞬间响彻整个核心区域！
走廊里红光疯狂闪烁！
沉重且密集的脚步声如同战鼓般从四面八方传来！
是那些全副武装的安保人员！
“快！保护现场！封锁所有数据！”
魏天华对著身边的工程师和pct专员大吼。
隨后和陈进一、严正行以及戴维·诺顿一起，以最快速度冲向观察窗所在的位置！
汉斯被这突如其来的变故和刺耳的警报嚇得魂飞魄散！
他猛地从震惊中回过神来，下意识地想后退逃离，但双脚却像灌了铅。
他看到魏天华等人冲了出来，脸上带著前所未有的可怕怒容。