第331章 流片成功！
......
第七天。
凌晨两点零三分。
帝都的夜很安静。
中关村的路灯坏了两盏，没人修。
地下室里，vax-11的风扇嗡嗡地转。
司徒渊敲下最后一个回车键。
仿真程序运行了五十一分钟。
屏幕上的代码，像瀑布一样狂泄。
三个人谁都没坐。
张秉谦站在屏幕左侧，老花镜推到了额头上，反而不戴了。
林希站在右侧，双手插在裤兜里。
司徒渊站在正中间，手搭在键盘边框上，指甲盖发白。
瀑布停止。
最后三行。
【记住全网最快小説站 101 看书网书库广，????????????.??????任你选 】
全是悦目的纯绿色。
`isa bus timing: passed`
`all timing constraints: met`
`total violations: 0`
张秉谦摘下额头上的老花镜。
他没喊，没笑。
他把眼镜折好，小心翼翼地放进胸口的口袋里。
然后他蹲了下去。
蹲在冰凉的瓷砖地面上，双手捂住了脸。
肩膀在抖。
没有声音。
林希转过头，不去看他。
司徒渊也转过头。
去看那台冰箱大小的机器。
米白色的外壳上，dec的標誌在地下室的日光灯管下反著光。
他盯著那个標誌看了几秒。
然后伸出手，轻轻地拍了拍机箱外壳。
“谢了。”他用英语说。
声音很轻。
直播间安静了整整八秒。
然后弹幕像潮水一样涌上来。
【零违规！！！全部通过！！！】
【七天！三个人干了別人一个团队半年的活！】
【张工那双膝盖上的白印到底磨掉了几层皮啊】
【不说了，眼睛进沙子了】
......
从中关村的地下室，到津门二厂的轰鸣。
短短几天，犹如跨越了一个时代。
七月一號。
津门无线电二厂。
硅基產线全速开动。
这是gk-3光刻机浴火重生后的第一次实弹操演。
陈默亲自操机，手指搭在对焦旋钮上，眼睛贴著目镜。
光柵尺的数字跳动，伺服电机精准补偿每一个微米的误差。
曝光。
显影。
硅片上的线条清晰锐利，边缘笔直。
刻蚀环节，boe槽液控温稳定在三十五度。
第一批硅片过检，沟槽完美。
陈默回头冲林希竖了个大拇指。
直到离子注入。
长安771所支援的国產离子注入机是十年前的老型號。
苏佩兰和王铁山两个老师傅在机器旁边守了一天一夜，反覆调整参数。
打出来的硅片，送到显微镜下一看。
掺杂深度分布不均匀。
有的区域深了，有的区域浅了。
像一块没发好的面，有些地方鼓著，有些地方瘪著。
直接后果：晶片漏电。
测试探针扎下去，电流一路跑偏，根本锁不住。
苏佩兰试了七组参数，全部失败。
“机器太老了。”
她摘下防尘面罩，额头上全是汗。
“束流不稳，真空也拉不到位。”
车间里的气氛沉下去了。
光刻过了，刻蚀过了，偏偏倒在了最基础的掺杂上。
林希站在注入机旁边，手扶著冰凉的金属外壳。
他闭上眼睛。
脑海中，直播间的弹幕已经开始翻涌。
【离子注入！关键参数来了！！！】
【我查了771所这批机器的资料——核心问题是束流电流太低导致注入时间过长，硅片在真空腔里受热不均匀！】
【解法很简单但很反直觉——把束流电流提上去！10ma！加速电压拉到50kev！让注入时间缩短，减少热积累！】
【最关键的一步：真空度！必须拉到10的负5次方帕斯卡！不然残余气体会和离子束髮生散射，杂质分布肯定不均匀！】
【对！这台老机器的分子泵其实能达到这个真空度，但出厂预设太保守了，得手动调旁通阀把抽速拉满！】
林希睁开眼。
“苏师傅。”
苏佩兰回头。
“束流电流调到10毫安。”
“加速电压拉到50千电子伏特。”
苏佩兰愣了一下。
“电流10毫安？”
“这台机器设计上限才8……”
“旁通阀全开，把真空度拉到10的负5次方帕。”
林希的声音很稳，
“抽速够了以后，束流不会散。”
苏佩兰看了看旁边的王铁山。
王铁山沉默了几秒，走到机器后面。
蹲下去看了看分子泵的参数铭牌。
“能拉到。”
他直起腰，
“负5次方没问题，就是没人敢这么用。”
“那就用。”林希说。
王铁山没再犹豫。
他抱著扳手绕到机器背面，拧开旁通阀。
苏佩兰深吸一口气，坐回操作台。
束流电流：10ma。
加速电压：50kev。
真空度读数开始往下掉。
10的负3次方。
负4次方。
分子泵的声音变得尖锐。
负5次方。
稳住了。
“注入。”林希说。
苏佩兰按下启动键。
机器轰鸣声骤然变调，像一头沉睡的野兽被唤醒。
离子束击中硅片表面。
六十秒。
一百二十秒。
注入结束。
苏佩兰取出硅片，双手端著，走到显微镜前。
车间里所有人的呼吸都停了。
她把硅片放上载物台，调焦。
看了三秒。
又调了一下倍率。
再看了五秒。
她抬起头。
嘴唇哆嗦了两下。
“均匀的。”
她的声音带著哭腔。
“深度完全一致。”
王铁山衝过去，把她从椅子上挤开，自己趴到目镜上看。
看完，他直起腰，一屁股坐在了地上。
“成了。”
两个字。
直播间弹幕彻底爆炸。
【流片成功！！！华国硅基晶片流片成功了！！！】
【1983年！自主光刻机+自主离子注入！流片流程打通！】
【这帮老师傅是真的牛，参数给到位了，手上的活一点不含糊】
【哭了哭了，跪在地上画版图，趴在机器前调参数，这就是华国晶片的第一步】
林希站在车间中央。
周围是沸腾的欢呼声。
林希转头看向窗外。
七月底的津门，太阳正落。
晚霞把整个二厂的厂房染成暗红色。
司徒渊不知道什么时候走到他旁边。
两人並排站著，看著窗外。
“林总。”司徒渊开口。
“嗯。”
“流片成功了，但这只是工程样片。”
司徒渊推了推眼镜。
“量產之前，还差最后一步，”
“封装，测试。”
第七天。
凌晨两点零三分。
帝都的夜很安静。
中关村的路灯坏了两盏，没人修。
地下室里，vax-11的风扇嗡嗡地转。
司徒渊敲下最后一个回车键。
仿真程序运行了五十一分钟。
屏幕上的代码，像瀑布一样狂泄。
三个人谁都没坐。
张秉谦站在屏幕左侧，老花镜推到了额头上，反而不戴了。
林希站在右侧，双手插在裤兜里。
司徒渊站在正中间，手搭在键盘边框上，指甲盖发白。
瀑布停止。
最后三行。
【记住全网最快小説站 101 看书网书库广，????????????.??????任你选 】
全是悦目的纯绿色。
`isa bus timing: passed`
`all timing constraints: met`
`total violations: 0`
张秉谦摘下额头上的老花镜。
他没喊，没笑。
他把眼镜折好，小心翼翼地放进胸口的口袋里。
然后他蹲了下去。
蹲在冰凉的瓷砖地面上，双手捂住了脸。
肩膀在抖。
没有声音。
林希转过头，不去看他。
司徒渊也转过头。
去看那台冰箱大小的机器。
米白色的外壳上，dec的標誌在地下室的日光灯管下反著光。
他盯著那个標誌看了几秒。
然后伸出手，轻轻地拍了拍机箱外壳。
“谢了。”他用英语说。
声音很轻。
直播间安静了整整八秒。
然后弹幕像潮水一样涌上来。
【零违规！！！全部通过！！！】
【七天！三个人干了別人一个团队半年的活！】
【张工那双膝盖上的白印到底磨掉了几层皮啊】
【不说了，眼睛进沙子了】
......
从中关村的地下室，到津门二厂的轰鸣。
短短几天，犹如跨越了一个时代。
七月一號。
津门无线电二厂。
硅基產线全速开动。
这是gk-3光刻机浴火重生后的第一次实弹操演。
陈默亲自操机，手指搭在对焦旋钮上，眼睛贴著目镜。
光柵尺的数字跳动，伺服电机精准补偿每一个微米的误差。
曝光。
显影。
硅片上的线条清晰锐利，边缘笔直。
刻蚀环节，boe槽液控温稳定在三十五度。
第一批硅片过检，沟槽完美。
陈默回头冲林希竖了个大拇指。
直到离子注入。
长安771所支援的国產离子注入机是十年前的老型號。
苏佩兰和王铁山两个老师傅在机器旁边守了一天一夜，反覆调整参数。
打出来的硅片，送到显微镜下一看。
掺杂深度分布不均匀。
有的区域深了，有的区域浅了。
像一块没发好的面，有些地方鼓著，有些地方瘪著。
直接后果：晶片漏电。
测试探针扎下去，电流一路跑偏，根本锁不住。
苏佩兰试了七组参数，全部失败。
“机器太老了。”
她摘下防尘面罩，额头上全是汗。
“束流不稳，真空也拉不到位。”
车间里的气氛沉下去了。
光刻过了，刻蚀过了，偏偏倒在了最基础的掺杂上。
林希站在注入机旁边，手扶著冰凉的金属外壳。
他闭上眼睛。
脑海中，直播间的弹幕已经开始翻涌。
【离子注入！关键参数来了！！！】
【我查了771所这批机器的资料——核心问题是束流电流太低导致注入时间过长，硅片在真空腔里受热不均匀！】
【解法很简单但很反直觉——把束流电流提上去！10ma！加速电压拉到50kev！让注入时间缩短，减少热积累！】
【最关键的一步：真空度！必须拉到10的负5次方帕斯卡！不然残余气体会和离子束髮生散射，杂质分布肯定不均匀！】
【对！这台老机器的分子泵其实能达到这个真空度，但出厂预设太保守了，得手动调旁通阀把抽速拉满！】
林希睁开眼。
“苏师傅。”
苏佩兰回头。
“束流电流调到10毫安。”
“加速电压拉到50千电子伏特。”
苏佩兰愣了一下。
“电流10毫安？”
“这台机器设计上限才8……”
“旁通阀全开，把真空度拉到10的负5次方帕。”
林希的声音很稳，
“抽速够了以后，束流不会散。”
苏佩兰看了看旁边的王铁山。
王铁山沉默了几秒，走到机器后面。
蹲下去看了看分子泵的参数铭牌。
“能拉到。”
他直起腰，
“负5次方没问题，就是没人敢这么用。”
“那就用。”林希说。
王铁山没再犹豫。
他抱著扳手绕到机器背面，拧开旁通阀。
苏佩兰深吸一口气，坐回操作台。
束流电流：10ma。
加速电压：50kev。
真空度读数开始往下掉。
10的负3次方。
负4次方。
分子泵的声音变得尖锐。
负5次方。
稳住了。
“注入。”林希说。
苏佩兰按下启动键。
机器轰鸣声骤然变调，像一头沉睡的野兽被唤醒。
离子束击中硅片表面。
六十秒。
一百二十秒。
注入结束。
苏佩兰取出硅片，双手端著，走到显微镜前。
车间里所有人的呼吸都停了。
她把硅片放上载物台，调焦。
看了三秒。
又调了一下倍率。
再看了五秒。
她抬起头。
嘴唇哆嗦了两下。
“均匀的。”
她的声音带著哭腔。
“深度完全一致。”
王铁山衝过去，把她从椅子上挤开，自己趴到目镜上看。
看完，他直起腰，一屁股坐在了地上。
“成了。”
两个字。
直播间弹幕彻底爆炸。
【流片成功！！！华国硅基晶片流片成功了！！！】
【1983年！自主光刻机+自主离子注入！流片流程打通！】
【这帮老师傅是真的牛，参数给到位了，手上的活一点不含糊】
【哭了哭了，跪在地上画版图，趴在机器前调参数，这就是华国晶片的第一步】
林希站在车间中央。
周围是沸腾的欢呼声。
林希转头看向窗外。
七月底的津门，太阳正落。
晚霞把整个二厂的厂房染成暗红色。
司徒渊不知道什么时候走到他旁边。
两人並排站著，看著窗外。
“林总。”司徒渊开口。
“嗯。”
“流片成功了，但这只是工程样片。”
司徒渊推了推眼镜。
“量產之前，还差最后一步，”
“封装，测试。”